样品尺寸:直径小于2cm,高度小于2cm 性能指标 1放大倍率:内置集成彩色光学显微镜,光学放大 27倍,电子放大 150,000倍 2分辨率:背散射优于14nm 3加速电压:5KV,10kV 4灯丝材料:六硼化铈 5真空系统:隔膜泵,涡轮分子泵 6检测信号:二次电子探测器、背散射电子探测器、能谱探测器; 7元素探测范围:B(5)-Cf(98) 8图像分辨率: 960 x 600、1920 x 1200、3840 x 2400和7680 x 4800像素
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