主要规格及技术指标

装片量：13片4英寸晶圆或者5片6英寸晶圆；
基片载具旋转速度可调节，最高旋转速度30rpm；
真空度：≤2×10E-7Torr；
坩埚数量：6；
坩埚溶剂：15cc；
蒸发距离：495.3mm和698.5mm可选；
基片加热器：4kW红外加热灯，通常加热温度200℃，更高温度可扩展；
电子枪高压电源：6KW,额定高压10KV；
均匀性：3%@1 Sigma；

主要功能及特色

制备纳米器件、有机光电器件的金属电极、制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层、多层膜的镀制，并进一步研发制作各种滤光膜、反射膜、投射膜及高档眼镜片薄膜，望远镜红膜等。

主要附件及配置

无