主要规格及技术指标

芯片尺寸：最大6英寸；
分辨率：优于0.8µm；
对位精度：正 ±0.5µm； 背 ±1µm；
曝光光源：Hg汞灯；
曝光方式：恒定剂量；
光源及寿命：汞灯-1000h；
找平方式：三点锁止全自动找平系统；

主要功能及特色

该设备属于微电子行业等各种高精尖行业必备设备，广泛应用于多半导体、微加工相关领域，在IC芯片、掩膜版、MEMS、生物芯片、PCB、IC Substrate、Touch 、Panel、TFT-LCD、LED等器件制备必不可少。

主要附件及配置

无