主要规格及技术指标

真空腔室φ300XH360mm,304优质不锈钢真空腔室；
真空系统复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统，数显复合真空计；
真空极限≤8.0×10-5pa;(空载，经烘烤除气后抽真空24小时)；
抽速从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min(设备空载)；
基片台旋转旋转速度:0~20转/分钟;

主要功能及特色

在薄膜材料表面蒸镀金、镍、铜等金属。

主要附件及配置

无