主要规格及技术指标

加速电压：30 kV；
放大倍率：不小于1 M；
二次电子分辨率：≤ 1.0nm@15kV，≤ 1.6nm@1kV

主要功能及特色

适用于各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析，对于不导电样品，特别是氧化物纳米材料和半导体样品，可直接在超低电压下进行高分辨率观察。

主要附件及配置

EDS