乌镇实验室新材料检测服务平台高分辨场发射透射电子显微镜、精研一体机、精密离子减薄仪开放共享的公告

1.设备参数

型号：JEM-F200；

肖特基热场发射电子枪：

 加速电压200kV；

放大倍率数：TEM 50~2M，STEM 200~150M；

高速CMOS相机：4k×4k；

双倾样品杆：  ±35°（X）/30°（Y）；

主要操作模式：TEM/STEM/EDS；

点分辨率：0.23nm@200kV，

线分辨率：0.10nm@200kV；

HAADF分辨率：0.15nm。

2.主要分析功能及应用

（1）电子衍射

包括选区衍射、微衍射、会聚束衍射，主要用于物相鉴定、晶体取向分析、相取向关系测定、晶格常数测定等。

（2）衍射衬度成像

用于晶体缺陷定性和定量分析，第二相的空间形状、尺寸和分布的观测，以及粉体样品的空间形状及尺寸分布等。

（3）Z衬度成像

观察样品中物相组成及分布，研究有序相中的原子排列规律。

（4）X射线能谱分析

用于样品微观区域内元素的定性和定量分析。

3. 样品要求

粉末样品：粒度小于100nm、无磁性，均匀分散于专用的碳膜或微栅上；

薄膜样品：利用双喷电解仪、离子减薄仪或聚焦离子束FIB制备，厚度小于100nm，表面无腐蚀、无氧化、无其它污染。

4.功能特色

透射电子显微镜（Transmission electron microscope, TEM）是采用波长极短的电子束作照明源，利用电磁透镜聚焦成像的高分辨分析仪器。可广泛应用于材料科学、物理学、化学、纳米技术、地质矿物学和生命科学等诸多研究领域，已发展成为探索物质微观结构的最重要分析工具之一。

1.设备参数

型号：Leica EM TXP

工具前进步进：100μm，10μm，1μm及0.5μm可选。显示进程，并具有快进和撤回功能；

工具轴承转速：300-20000rpm可调；

具有自动进程倒计数，自动时间倒计时功能，具有自动应力反馈功能；

样品处理过程可由蠕动泵自动泵冷却液/研磨液，并可接吸尘器；

带有体视镜观察系统，LED环形照明，4分格，带有坐标尺；

可选工具：切割锯片，抛光片，Φ3mm空心钻。

2.主要功能及应用

（1）对微小目标区进行精确定位和样品制备；

（2）通过立体显微镜实现原位观察；

（3）多功能化机械处理；

（4）自动化样品处理过程控制；

（5）可获得平如镜面的抛光效果；

（6）LED环形光源亮度可调，4分割区段可选。

3.功能特色

精研一体机是一款可对目标区域进行精确定位的表面处理工具，特别适合于SEM，TEM，AFM和LM观察之前对样品的处理，主要包括切割﹑研磨﹑抛光﹑铣削﹑和冲钻等加工，并可实现实时显微观察。它尤其适合于制备高难度样品，如需要对目标精细定位或需对肉眼难以观察的微小目标进行定点处理。

1.设备参数

型号：Fischione 1051

两支TrueFocus聚焦离子源； 

可变能量范围100 eV到10 keV ，

最大束流密度可达10 mA/cm2； 

减薄角度−15°到+10˚连续可调；

可选择单枪或双枪工作模式；

两支离子枪能量可独立调节；

可选手动或自动马达离子枪； 

离子束角度、束斑大小均可调节。

2.主要功能及应用

离子减薄技术通常采用惰性气体氩，通过将氩气离子化后，在电场加速作用下轰击到样品表面，利用动量转移的方式进行可控速率条件下，物理溅射轰击的方式对样品进行减薄，最终实现样品能够达到透射电镜所需的电子束穿透厚度。

3.功能特色

离子减薄仪是一种在材料科学领域普遍应用的仪器，主要用于陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（TEM）样品的制备，具备紧凑、精确以及高稳定性的优点。